<ins id="d1vfg"><track id="d1vfg"></track></ins>
  • <mark id="d1vfg"></mark>
  • <source id="d1vfg"><ruby id="d1vfg"></ruby></source>
    <p id="d1vfg"><noscript id="d1vfg"></noscript></p>

      為“中國芯”保駕護航

        ——記科技進步二等獎項目芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液生產關鍵技術

        超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液是芯片制造行業不可替代的關鍵電子化學品之一,其關鍵技術和核心裝備長期被國外企業所壟斷,嚴重制約著我國芯片產業的健康可持續發展,是亟待攻克的“卡脖子”技術。

        面對這一重大戰略需求,興發集團從2006年開始,與中國科學院過程工程研究所、武漢工程大學和集團旗下湖北興福電子材料有限公司合作,經過10多年研究攻關,自主研發出高純黃磷與電子級磷酸制備的關鍵技術,打破了超高純電子級磷酸產品的進口依賴,實現了高選擇性蝕刻液的自主制備,也因此獲得了2019年國家科技進步二等獎。

        多年探索破解難題

        超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液的主流工藝是黃磷燃燒水合法。該工藝存在3項關鍵技術難題:一是生產原料黃磷中的砷、銻雜質含量比國外高純黃磷高出3000倍且極難去除,帶入電子級磷酸會導致芯片的電阻波動;二是黃磷高溫燃燒造成設備腐蝕并帶入鐵、鉻、鎳等金屬雜質,會導致芯片短路,而我國缺乏雜質控制技術,導致不能生產符合國際標準的電子級磷酸;三是缺乏高選擇性蝕刻液制備技術,無法滿足大容量閃存芯片、高端邏輯芯片對蝕刻速率的要求。

        針對這些技術難題,研究團隊進行了艱苦探索,終于開發出一系列行之有效的方法。他們針對工業黃磷砷、銻等雜質去除的關鍵難題,發明了選擇性氧化提純工業黃磷新技術,制備出滿足超高純電子級磷酸要求的高純黃磷;對于黃磷燃燒反應過程中設備腐蝕以及由此帶來的金屬雜質污染等技術難題,開發了動態磷酸酐膜阻隔防腐蝕技術與設備,實現了超高純電子級磷酸的國產化制備。此外,高密度、大容量閃存芯片蝕刻要求極高的選擇比,而高端邏輯芯片的蝕刻需要高均一性,我國缺乏蝕刻速率控制技術,生產不出高選擇性蝕刻液,研究團隊創新了蝕刻液蝕刻速率調控技術,實現了高選擇性磷酸系蝕刻液的自主化制備。

        持續創新效益彰顯

        超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液項目的實施,打破了國外企業對超高純電子級磷酸生產的技術壟斷,實現了芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液的自主化制備,形成了我國芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液制備的完全自主知識產權。該項目共獲得授權專利30件,其中發明專利11件。興發集團技術研發中心還參與制定了電子級磷酸國家標準,成為我國磷化工行業的標桿。

        厚積薄發,創新帶來的不僅是技術的突破。在技術的推動下,一項項成果深入到社會中的不同行業、不同領域,也悄然改變著每一個人的生活,產生了顯著的經濟效益和社會效益。

        該項目推動了我國精細磷化工產品由普通工業級、食品級向超高純電子級的重大跨越,為我國磷資源的高效和高值化利用打下了基礎,也成為我國磷化工產業和長江沿線化工園區轉型升級的典范,為國家實施長江大保護重大戰略提供了示范引領作用。

        更值得一提的是,該項目培養了一大批從事電子級化學品研究開發、成果轉化、檢驗檢測和市場服務的專業隊伍,打造了一支電子級化學品生產與研發的技術團隊,為我國電子化學品行業可持續發展輸出了寶貴的人力資源。

        推廣應用斬獲佳績

        經全球權威機構SGS檢測和國內專家委員會鑒定,該項目生產的電子級磷酸產品達到國際先進水平,在砷、銻等雜質控制技術上達到國際領先水平,填補了國內超高純電子級磷酸領域的技術空白。

        自2006年以來,經過一系列關鍵技術研發和產業化推廣,該項目已在國內5家企業推廣應用,促進了芯片專用電子級磷酸的國產化,實現了進口替代,產品還出口到美國、新加坡、日本、韓國等地。

        更為重要的是,芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液已成功應用于國內芯片制造行業,支撐了我國電子材料和芯片行業的發展,為實現我國2025年電子材料國產化率大于50%的目標奠定了基礎。

      相關推薦

      高強高模聚甲醛纖維制備獲專利   

        近日,開灤煤化工研發中心依托唐山開灤化工科技有限公司申報的“一種高強高模聚甲醛纖維及其制備方法”獲得發明專利授權。這是該公司在高強高模聚甲醛纖維制備技術方面取得的第二項授權發明專利,也是其在聚甲醛...

      2020-05-29     中國化工報

      全國人大代表鄭彩琴建議:加強石化行業跨界技術攻關   

        近日,全國人大代表、蘭州石化公司合成橡膠廠企業文化科科長鄭彩琴表示,石油化工行業是技術資金密集行業,技術進步的壓力大、難度也大。從目前的情況來看企業“單打獨斗”的難度巨大,應當推動跨界技術攻關,圍...

      2020-05-29     中國化工報

      蘭州化物所舉辦公眾科學日   

        5月23日,中國科學院蘭州化學物理研究所舉辦了第十六屆公眾科學日。結合疫情防控要求,本屆公眾科學日以線上形式開展,吸引了社會各界近5.4萬余人次觀看網絡直播。

      2020-05-29     中國化工報

      磷復肥行業年會即將“上線”   

        6月18~24日,中國磷復肥工業協會將在線上召開第二十七屆全國磷復肥行業年會,中國磷復肥工業協會七屆六次理事會同期舉行。

      2020-05-29     中國化工報

      馬鞍口切割模具省時又省力   

        5月24日,河南油田采油二廠古城B125注汽站移動鍋爐搬遷安裝完成。“多虧了老張鼓搗的這個小發明,給咱節約了三成的氧氣、乙炔成本,真是又省時又省力。”說到這,該廠機組長裴學理連豎大拇指。

      2020-05-29     中國化工報

      醫療級手套專用糊樹脂開發成功   

        近日,沈陽化工股份有限公司研發生產出精品醫療級手套專用糊樹脂,日產量約300噸。

      2020-05-29     中國化工報
      cp彩票77